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Rishige RSG50A單頻射頻電源

      全固態(tài)射頻源系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大學實驗室，醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)材料加工設(shè)備（如射頻濺射、刻蝕、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD)，同時也應(yīng)用在感應(yīng)和介質(zhì)加熱的工業(yè)領(lǐng)域。用戶可根據(jù)不同功率（50瓦，100瓦，200瓦，500瓦，1KW，2KW，3.5KW，6KW，10KW，12.5KW）、不同射頻頻率（13.56MHz /27.12MHz /40.68MHz / 60MHz/ 81.36MHz/ 100MHz) 及脈沖頻率（0～100KHz）選用相應(yīng)的機型。我們也歡迎用戶根據(jù)自己的特殊需要來洽談，為其系統(tǒng)訂做專用頻率和功率的全固態(tài)射頻電源。 

Rishige RSG50A單頻射頻電源特點

輸出功率：	功率為5～50W間某一設(shè)定值，用戶可±20%微調(diào)，無表頭顯示。
功率穩(wěn)定度：	≤ ±0.5％(額定功率輸出時)
頻率穩(wěn)定度：	≤ ±0.005%
功率響應(yīng)時間：	額定輸出啟動 ＜10ms
頻率信號：	標準正弦波，進口石英晶振激勵
信號頻率：	13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/100MHz（或其它工業(yè)頻率）
信號輸出形式：	連續(xù)波；矩形方波（由加脈沖調(diào)制器調(diào)制成方波，脈沖寬度10微秒到連續(xù)波，占空比可用戶定義，方波上升沿和下降沿不大于3微秒）
輸出阻抗：	50Ω
承受駐波比：	VSWR≤2.0
諧波輸出：	二次諧波低于 -50dB，三次及更高次諧波低于 -55dB
供電電壓：	DC24V供電
整機效率:	≥ 70％（50W輸出時）
冷卻方式：	強制風冷
環(huán)境溫度：	0 ~ 40℃
相對濕度：	< 85%
控制接口：	模擬接口，或采用RS485、RS232 通訊協(xié)議
輸出接口：	標準同軸接頭輸出，陰性
長壽命:	核心部件進口晶體管，每天24小時連續(xù)工作可使用30年
操控模式
產(chǎn)品采用計算機外控開關(guān)機操控方式，無表頭顯示，適合定型產(chǎn)品系統(tǒng)集成使用。
射頻電源保護
1.過熱保護 2.駐波保護 3.過壓保護 4.過流保護

Rishige RSG50A單頻射頻電源選型

可提供如下射頻頻率產(chǎn)品：

13.56MHz

27.12MHz

40.68MHz

81.36MHz

100MHz（或其它工業(yè)頻率）