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SpecEl 橢偏儀

      SpecEl橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)

波長(zhǎng)范圍:	380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選)
光學(xué)分辨率	4.0 nm FWHM
測(cè)量精度	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角	70°
膜厚	單透明膜1-5000 nm
光點(diǎn)尺寸	2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 μm x 400 μm (可選)
采樣時(shí)間	3-15s (小)
動(dòng)態(tài)記錄	3 seconds
膜層數(shù)	至多32層
參考	不需要

集成的測(cè)量系統(tǒng)

      SpecEl由一個(gè)集成的光源，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

      通過(guò)SpecEI軟件，你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會(huì)被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來(lái)執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。