- 名稱:Rishige RSG100單頻射頻電源
- 型號(hào):RSG100
- 品牌:Rishige
- 描述:全固態(tài)射頻源系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大學(xué)實(shí)驗(yàn)室,醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)材料加工設(shè)備(如射頻濺射、刻蝕、平行板、射頻...
服務(wù)熱線:0755-86185757
產(chǎn)品概述
主要特點(diǎn)
選型指南
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Rishige RSG100單頻射頻電源
全固態(tài)射頻源系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大學(xué)實(shí)驗(yàn)室,醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)材料加工設(shè)備(如射頻濺射、刻蝕、平行板、射頻激光、ICP、RIE、CVD和PVD),同時(shí)也應(yīng)用在感應(yīng)和介質(zhì)加熱的工業(yè)領(lǐng)域。用戶可根據(jù)不同功率(50瓦,100瓦,200瓦,500瓦,1KW,2KW,3.5KW,6KW,10KW,12.5KW)、不同射頻頻率(13.56MHz /27.12MHz /40.68MHz / 60MHz/ 81.36MHz/ 100MHz) 及脈沖頻率(0~100KHz)選用相應(yīng)的機(jī)型。我們也歡迎用戶根據(jù)自己的特殊需要來(lái)洽談,為其系統(tǒng)訂做專用頻率和功率的全固態(tài)射頻電源。
Rishige RSG100單頻射頻電源特點(diǎn)
輸出功率:
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額定功率1 ~ 100% ,連續(xù)可調(diào),正反向功率高清晰VFD顯示
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功率穩(wěn)定度:
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≤ ±0.5%(額定功率輸出時(shí))
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頻率穩(wěn)定度:
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≤ ±0.005%
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功率響應(yīng)時(shí)間:
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額定輸出啟動(dòng) <10ms
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頻率信號(hào):
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標(biāo)準(zhǔn)正弦波,進(jìn)口石英晶振激勵(lì)
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信號(hào)頻率:
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13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/100MHz(或其它工業(yè)頻率)
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信號(hào)輸出形式:
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連續(xù)波;矩形方波(由加脈沖調(diào)制器調(diào)制成方波,脈沖寬度10微秒到連續(xù)波,占空比可用戶定義,方波上升沿和下降沿不大于3微秒)
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輸出阻抗:
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50Ω
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承受駐波比:
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VSWR ≤ 2.0
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諧波輸出:
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二次諧波低于 -50dB,三次及更高次諧波低于 -55dB
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供電電壓:
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DC24V供電
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整機(jī)效率:
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≥ 70%(100W輸出時(shí))
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冷卻方式:
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強(qiáng)制風(fēng)冷
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環(huán)境溫度:
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0 ~ 40℃
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相對(duì)濕度:
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< 85%
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控制接口:
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模擬接口,或采用RS485、RS232 通訊協(xié)議
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輸出接口:
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標(biāo)準(zhǔn)同軸接頭輸出,陰性
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長(zhǎng)壽命:
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核心部件進(jìn)口晶體管,每天24小時(shí)連續(xù)工作可使用30年
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操控模式
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產(chǎn)品采用面板手動(dòng)操控方式和遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)模擬及通訊操控方式,液晶面板顯示各項(xiàng)數(shù)值,既適合大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、科研院所研發(fā)使用,也適合自動(dòng)化生產(chǎn)線閉環(huán)控制使用。
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射頻電源保護(hù)
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1.過(guò)熱保護(hù) 2.駐波保護(hù) 3.過(guò)壓保護(hù) 4.過(guò)流保護(hù)
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Rishige RSG100單頻射頻電源選型
可提供如下射頻頻率產(chǎn)品:
13.56MHz
27.12MHz
40.68MHz
81.36MHz
100MHz(或其它工業(yè)頻率)