XY行程范圍

300 mm x300 mm (12"x12")

XY最佳行程

300mm x 300 mm（滿足大范圍行程測(cè)試）

移動(dòng)精度/分辨率

< 1.0 μm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev)

平面性

<10μm

theta行程

粗調(diào)：360°

微調(diào)精度：± 8.0° (optional)*

分辨率：7.5 x 10^-3 gradient

運(yùn)動(dòng)控制

氣控+無(wú)牙螺母控制

Z軸升降

快速升降：3mm

微調(diào)升降：0-13mm,精度：≤2μm

材料

鋼鍍鎳

尺寸

見(jiàn)產(chǎn)品尺寸介紹第8頁(yè)

最大針座數(shù)量

8 DC and 4 RF(取于針座配置)

卡盤(pán)到針座平臺(tái)下底面最佳距離

Z-height運(yùn)動(dòng)范圍

Max.0-40mm (取于卡盤(pán)配置)

Separation lift

3段：分離(300μm)，Load裝載(5mm),不間斷升降（0-40mm)

接觸重復(fù)性

< ±1μm (0.08 mils)

RF 針座固定

磁力吸附/真空吸附

DC 針座固定

磁力吸附/真空吸附